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3月26日,在SEMICON China 2025大会上,背靠深圳国资委的国内半导体设备新锐创企——新凯来,首次亮相便爆火。据悉,在今年的 Semicon China 现场,新凯来一口气发布了数十款新产品,覆盖半导体制造全流程。在工艺装备方面包括:扩散装备RTP(三清山)、EPI(峨眉山);刻蚀产品ETCH(武夷山);薄膜产品PVD(普陀山)、CVD(长白山)、ALD(阿里山)。在量检测装备方面包括:光学检测产品岳麓山BFI、丹霞山DFI、蓬莱山 PC、莫干山MBI;光学量测产品天门山IBO、天门山DBO;PX量测产品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF;功率检测产品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。另据,天眼查显示,深圳市新凯来技术有限公司背后100%持股股东是深圳市深芯恒科技投资有限公司,而深芯恒科技的100%持股股东是深圳市重大产业投资集团,其董事长、法人戴军亦是国家大基金二期的监事,也是中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司的董事。
近日,我国九峰山实验室科研团队在全球首次实现8英寸硅基氮极性氮化镓(N-polar GaNOI)高电子迁移率材料的制备,打破了国际技术垄断。氮极性氮化镓材料在高频段(如毫米波频段)的性能非常出色,这对于需要高频操作的领域来说十分重要,该成果将助力射频前端等系统级芯片在频率、效率、集成度等方面越级提升,为下一代通信、自动驾驶、雷达探测、微波能量传输等前沿技术发展提供有力支撑。另外,九峰山实验室还发布了国内首个100 nm硅基氮化镓商用工艺设计套(PDK),性能指标达到国内领先、国际一流水平。作为全球第二个、国内首个商用方案,其技术指标可支撑高通量Ku/Ka频段低轨卫星通信,能够满足下一代移动通信、商用卫星通信与航天领域、车联网及工业物联网、手机终端等多领域对高频、高功率、高效率氮化镓器件的需求,推动我国相关领域器件从“进口替代”迈向“技术输出”。PDK(Process Design Kit,工艺设计套件)是半导体制造中不可或缺的工具包。它为芯片设计者提供工艺参数、器件模型、设计规则等关键信息,快速实现从电路设计到实际制造的转化,是连接芯片设计与制造的“桥梁”。